日期：2014-12-01 17:33:11  點擊：227   好評：0  評論()

微工廠或桌面工廠 Feynman在1959年的美國物31學會上的演講中 描繪了一個全新的物理應用領域，也就是徽型系統。 他提出用小機器制造更小的機器或系統的徽系統制造 方法。然而這種思路目前還沒能在MEMS鋇域得以 實現。事實上，我們用的是很大很大的機械來制造小...

日期：2014-12-01 17:22:00  點擊：225   好評：0  評論()

微機器人器件 微機器人器件種類很多，可以簡單到就是一個可 操縱微導管，也可以復雜到一個配置了各種微工具的 全自動行走機器人等。其中有各種各樣的微機器人器 1微夾子和其他微型工具 第一個出現的微機器人工具是面內運動的靜電執 行器，構成了一個微夾子器...

日期：2014-12-01 17:19:31  點擊：244   好評：0  評論()

微機器人制造方法 設計微機器人時，需要對各參數進行權衡考慮， 包括行程、強度、速度、功耗、控制精度、系統可靠 性、勢棒性、力的產生方式、承載能力等。這些參數 與執行機制有著密切的聯系。下面將圈繞這些參數展 開詳細介紹。 1微執行器陣列 對于多數徽執...

日期：2014-12-01 17:17:18  點擊：156   好評：0  評論()

微機器人應用領域 1基于MEMS技術的微機器人應用 微機器人的用途最早由Feynman在上個世紀50 年代末期提出。他認為機器人變小后主要可用來實現 微型工廠和(在病人血管里)微型手術這兩個用途。 用基于MEMS技術的徽機器人來實現可操縱導 管和內窺鏡，可以達到計算...

日期：2014-12-01 17:13:10  點擊：277   好評：0  評論()

微機器人 早在1959年，諾貝爾獎獲得者Feynman教授在 著名演講中就提到了微尺度物體的制造和操縱問題。 Feynman提出的方法是利用微型機械(即微型機器 人)本身去制造或組裝其它微機械和微型系統。這 種方法實際上是一種棍合加工技術.或者說是串行加 工技術(一個...

日期：2014-12-01 17:04:47  點擊：202   好評：0  評論()

應用實例 1微馬達 多晶硅裝置中最重要的元件之一是微馬達。圖 29.4-34是微馬達的示意圖，一個梳狀驅動器通過滑 塊曲柄裝置與齒輪相連，另一個梳狀驅動器用于控制 齒輪通過上方和下方的靜止點。梳狀馭動器是靜電器 件，利用邊緣場可以在較大的位移范圍內產生均...

日期：2014-12-01 16:59:39  點擊：154   好評：0  評論()

失效機制 1離面結構的垂直浮動和機械干擾 表面微機械組件的一個典型特征是厚度比寬度小 得多。由于低壓化學氣相淀積的淀積速率和薄膜中的 應力限制，在平面法向上，厚度被限制在幾微米。在 襯底平面上，結構的跨度可能達到幾個毫米。這些因 素導致表面微機械...

日期：2014-12-01 16:52:07  點擊：171   好評：0  評論()

微機械裝置-機械設計 結構和機械裝置之間的根本差別在于機械裝置具 有給定的自由度，通常為一個自由度。根據運動方 式，可以將微機械裝置分為兩類:彈性裝置，借助柔 性結構運動，如彈贊和扭轉桿等;剛體(或整體運 動)裝置，借助鉸鏈和軸承運動。剛體裝置允許部...

日期：2014-12-01 16:50:02  點擊：129   好評：0  評論()

微機械裝置 微小裝置具有許多優點:①微小裝置在航空 航天中具有重要的應用，體積和重量的減少相當于拓 展航天范圍或者減少飛行燃料;②微小尺度下，高速 運轉的機械裝置受慣性的影響較小，如果需要裝置迅 速啟動和停止，則可以大大受益;③更小的尺寸意味 著微...

日期：2014-12-01 16:47:00  點擊：208   好評：0  評論()

微流控系統 目前已經報導了多種微流控芯片及系統，主要應 用領域包括疾病診斷、藥物篩...